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首頁 產品與服務 蝕刻微納光學 衍射微納光學元器件

衍射微納光學元器件

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熔融石英、硅

8"晶圓級

二元、8階、16階

0.5μm的最小特征尺寸

< 70nm套刻精度

衍射效率高達98%

190nm至5μm波長范圍

應用領域:半導體制程、光束整形、激光光學、光場勻化器/擴散器、相位板、三維傳感、點陣發生器

衍射微納光學元器件

技術指標

基于硅或熔融石英材質的衍射微納光學元器件,2階至16階衍射元件設計,最小特征尺寸在500 nm 至1 μm,套刻誤差小于70 nm,效率最高可達96%。可應用于泛半導體光場勻化器、高功率激光器光束整形系統、光纖互聯渦旋透鏡、點陣發生器和勻光擴散器等。

衍射微納光學元器件亦可用作光場勻化器和整形器,以克服折射微透鏡陣列在尺寸、重量或光斑形狀等方面的限制,能夠在單個元件中實現復雜的光學功能。

 

技術指標

材質

熔融石英(各種等級)和硅

結構組成

2階(二元)至16階

精度

典型套刻誤差 < 70 nm

最小特征尺寸

500 nm 至1 μm ,根據階躍高度和刻蝕深度而定

效率

高達 96 %

應用領域

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